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日本HORIBA堀場(chǎng)質(zhì)量流量控制器SEC-N100

日本HORIBA堀場(chǎng)質(zhì)量流量控制器SEC-N100(SEC-N146MGM)

HORIBA,SEC-N100質(zhì)量流量控制器(SEC-N146MGM)

日本HORIBA堀場(chǎng)質(zhì)量流量控制器SEC-N100 簡介

產(chǎn)品參數(shù)
產(chǎn)品品牌
HORIBA堀場(chǎng)
產(chǎn)品類型
質(zhì)量流量計(jì)/控制器
可售賣地
面議
價(jià)格區(qū)間
面議
供貨總量
面議
售后服務(wù)
完善
產(chǎn)品簡介
日本HORIBA堀場(chǎng)質(zhì)量流量控制器SEC-N100是一款高精度的數(shù)字式流量控制器,專為非芯片半導(dǎo)體制程設(shè)計(jì),以適應(yīng)各種工藝標(biāo)準(zhǔn)。該系列產(chǎn)品支持多種通信模式,包括數(shù)字式、模擬式、DeviceNet、CC-Link、PROFIBUS和EtherCAT,確保與不同系統(tǒng)的兼容性。SEC-N100系列提供從10 SCCM到1000 SLM的廣泛流量控制范圍,能夠在1秒內(nèi)響應(yīng),精度達(dá)到±1.0%,適用于光伏制造、功能玻璃干法鍍膜、藥品制造及環(huán)境監(jiān)測(cè)等多個(gè)領(lǐng)域。其可調(diào)節(jié)氣體和量程選項(xiàng),以及多種閥門類型的選擇,使其成為多種高端制造過程中的優(yōu)選設(shè)備。

日本HORIBA堀場(chǎng)質(zhì)量流量控制器SEC-N100(SEC-N146MGM) 介紹

型號(hào):SEC-N146MGM
精度:±1.0% S.P.(Flow rate>35%F.S.) ±0.35% F.S.(Flow rate≤35%F.S.)
量程:200
輸出:PROFIBUS(-DP)
0-5V/0-10V/4-20mA

日本HORIBA堀場(chǎng)質(zhì)量流量控制器SEC-N100 詳情介紹

SEC-N100質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品概述

HORIBA SEC-N100質(zhì)量流量控制器專為非芯片半導(dǎo)體制程設(shè)計(jì),以滿足該行業(yè)逐步統(tǒng)一的制造標(biāo)準(zhǔn)。該系列產(chǎn)品憑借高度的適應(yīng)性,能夠滿足多種制程規(guī)范的需求,提供精確的流量控制和高速響應(yīng)性,是多種高端制造過程中的優(yōu)選設(shè)備。

SEC-N100質(zhì)量流量控制器通信與控制接口

SEC-N100系列支持多樣的通訊模式,包括數(shù)字式和模擬式,及高級(jí)網(wǎng)絡(luò)通信協(xié)議如DeviceNet、CC-Link、PROFIBUS和EtherCAT。這些功能使其能夠與不同的控制系統(tǒng)兼容,并提供靈活的配置選項(xiàng)。

SEC-N100質(zhì)量流量控制器應(yīng)用領(lǐng)域

  • 光伏制造:過程控制與現(xiàn)場(chǎng)測(cè)量
  • 功能玻璃干法鍍膜:等離子體發(fā)射控制與過程氣體監(jiān)測(cè)
  • 藥品制造:冷凍干燥設(shè)備的真空監(jiān)測(cè)與控制
  • 環(huán)境監(jiān)測(cè):對(duì)PM2.5的精確測(cè)量
  • 光纖生產(chǎn):流程氣體質(zhì)量流量控制
  • 實(shí)驗(yàn)室研究與測(cè)試:實(shí)驗(yàn)室用氣體質(zhì)量流量控制

SEC-N100質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特性

  • 多模式通信兼容性:包括RS-485、DeviceNet、Profibus和模擬(電流/電壓)接口,確保與其他系統(tǒng)的無縫整合。
  • 可調(diào)節(jié)氣體和量程:用戶可便捷地根據(jù)需求更改氣體類型和流量范圍,提高設(shè)備的適用性和靈活性。
  • 高精度流量控制:精度達(dá)到±1.0%的設(shè)定流量,采用與SEC-Z500系列相同的高級(jí)sensor和bypass技術(shù),確保流量控制的準(zhǔn)確性。
  • 快速響應(yīng)時(shí)間:響應(yīng)時(shí)間不超過1秒,在可控流量范圍內(nèi)提供快速調(diào)節(jié),內(nèi)置PID參數(shù)可用于優(yōu)化響應(yīng)時(shí)間。
  • 閥門選項(xiàng):提供電磁閥(至50SLM)和壓電陶瓷閥(100/200SLM)選擇,適用于不同的流量需求。
  • 材質(zhì)與設(shè)計(jì):提供橡膠或金屬密封圈,未經(jīng)拋光處理的氣路表面,以及僅VCR接口的設(shè)計(jì),滿足RoHS環(huán)保要求。

日本HORIBA堀場(chǎng)質(zhì)量流量控制器SEC-N100產(chǎn)品規(guī)格

日本HORIBA堀場(chǎng)質(zhì)量流量控制器SEC-N100參數(shù)

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