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HORIBA GR-511F 晶圓背面冷卻系統壓力控制器簡介

產品參數

產品品牌

HORIBA堀場

產品類型

質量流量計/控制器

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完善

產品簡介

GR-511F壓力控制器可以控制用于冷卻由靜電卡盤系統固定在適當位置的晶片背面的氣體。 GR-511F壓力控制器的穩定性和精度使其成為控制晶圓冷卻系統中氦氣和氬氣流量的選擇。

優點：
壓力控制更穩定、更精確
質量流量傳感器（可選）
兼容各種配件
符合RoHS標準

HORIBA GR-511F 晶圓背面冷卻系統壓力控制器參數

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