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HORIBA IR-400 用于腔室清洗終點監(jiān)測的高級氣體監(jiān)測儀簡介

產(chǎn)品參數(shù)

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產(chǎn)品簡介

IR-400 可在沉積過程中實時監(jiān)測腔室清洗終點。通過優(yōu)化清洗過程，IR-400 減少了清洗時間和氣體用量。清洗氣體用量減少會降低對腔室的損害，并增加所有系統(tǒng)部件的壽命。多氣體監(jiān)測（支持 SiF4 和 CF4） (IR-422) 高靈敏度氣室加熱功能最高可達 180℃ 多重顯示模擬/數(shù)字通信

HORIBA IR-400 用于腔室清洗終點監(jiān)測的高級氣體監(jiān)測儀詳情介紹

功能/特點：
IR-400 實時終點監(jiān)測的優(yōu)勢
減少腔室清洗時間
減少清洗氣體使用量
可重復和可預測的清洗過程
延長腔室組件壽命

HORIBA IR-400 用于腔室清洗終點監(jiān)測的高級氣體監(jiān)測儀產(chǎn)品規(guī)格

HORIBA IR-400 用于腔室清洗終點監(jiān)測的高級氣體監(jiān)測儀參數(shù)

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