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日本HORIBA堀場質量流量控制器SEC-N100

日本HORIBA堀場質量流量控制器SEC-N100

HORIBA,SEC-N100質量流量控制器

日本HORIBA堀場質量流量控制器SEC-N100 簡介

產品參數
產品品牌
HORIBA堀場
產品類型
質量流量計/控制器
可售賣地
面議
價格區間
面議
供貨總量
面議
售后服務
完善
產品簡介
日本HORIBA堀場質量流量控制器SEC-N100是一款高精度的數字式流量控制器,專為非芯片半導體制程設計,以適應各種工藝標準。該系列產品支持多種通信模式,包括數字式、模擬式、DeviceNet、CC-Link、PROFIBUS和EtherCAT,確保與不同系統的兼容性。SEC-N100系列提供從10 SCCM到1000 SLM的廣泛流量控制范圍,能夠在1秒內響應,精度達到±1.0%,適用于光伏制造、功能玻璃干法鍍膜、藥品制造及環境監測等多個領域。其可調節氣體和量程選項,以及多種閥門類型的選擇,使其成為多種高端制造過程中的優選設備。

日本HORIBA堀場質量流量控制器SEC-N100 詳情介紹

SEC-N100質量流量控制器產品概述

HORIBA SEC-N100質量流量控制器專為非芯片半導體制程設計,以滿足該行業逐步統一的制造標準。該系列產品憑借高度的適應性,能夠滿足多種制程規范的需求,提供精確的流量控制和高速響應性,是多種高端制造過程中的優選設備。

SEC-N100質量流量控制器通信與控制接口

SEC-N100系列支持多樣的通訊模式,包括數字式和模擬式,及高級網絡通信協議如DeviceNet、CC-Link、PROFIBUS和EtherCAT。這些功能使其能夠與不同的控制系統兼容,并提供靈活的配置選項。

SEC-N100質量流量控制器應用領域

  • 光伏制造:過程控制與現場測量
  • 功能玻璃干法鍍膜:等離子體發射控制與過程氣體監測
  • 藥品制造:冷凍干燥設備的真空監測與控制
  • 環境監測:對PM2.5的精確測量
  • 光纖生產:流程氣體質量流量控制
  • 實驗室研究與測試:實驗室用氣體質量流量控制

SEC-N100質量流量控制器產品特性

  • 多模式通信兼容性:包括RS-485、DeviceNet、Profibus和模擬(電流/電壓)接口,確保與其他系統的無縫整合。
  • 可調節氣體和量程:用戶可便捷地根據需求更改氣體類型和流量范圍,提高設備的適用性和靈活性。
  • 高精度流量控制:精度達到±1.0%的設定流量,采用與SEC-Z500系列相同的高級sensor和bypass技術,確保流量控制的準確性。
  • 快速響應時間:響應時間不超過1秒,在可控流量范圍內提供快速調節,內置PID參數可用于優化響應時間。
  • 閥門選項:提供電磁閥(至50SLM)和壓電陶瓷閥(100/200SLM)選擇,適用于不同的流量需求。
  • 材質與設計:提供橡膠或金屬密封圈,未經拋光處理的氣路表面,以及僅VCR接口的設計,滿足RoHS環保要求。

日本HORIBA堀場質量流量控制器SEC-N100產品規格

日本HORIBA堀場質量流量控制器SEC-N100參數

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