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日本HORIBA堀場質量流量計SEC-Z500 簡介

產品參數

產品品牌

HORIBA堀場

產品類型

質量流量計/控制器

可售賣地

面議

價格區間

面議

供貨總量

面議

售后服務

完善

產品簡介

目前的SEC-Z500X 系列產品主要使用于半導體制程, 而SEC-N100 作為它的重要補充，主要針對非芯片半導體制程而開發。同半導體制程一樣，非芯片半導體工藝也已經形成相對統一的制造標準， SEC-N100 系列產品能夠滿足廣大客戶對不同制程規范的要求。

日本HORIBA堀場質量流量計SEC-Z500(SEC-Z542MGX) 介紹

型號：SEC-Z542MGX
精度：±1.0% S.P.(Flow rate>35%F.S.) ±0.35% F.S.(Flow rate≤35%F.S.)
量程：200SLM
電源：電源±15V
輸出：RS485
0-5V

日本HORIBA堀場質量流量計SEC-Z500 詳情介紹

HORIBA堀場質量流量計SEC-Z500減少實際流量和理論差異

HORIBA堀場質量流量計SEC-Z500，Sensor
1.使用溫度補償回路傳感器(減少摩爾比熱影響)
2.多項方程來糾正流量
3.收集流量輸出特性數據庫(N2和實際氣體)
4.更新sensor 數據 by Data Server
HORIBA堀場質量流量計SEC-Z500，Bypass
1.提高加工精度
2.安裝不同流量的BP配合sensor (Fixed flow ratio every Bin number
HORIBA堀場質量流量計SEC-Z500，Flow path
1.內部表面拋光，減少流量差異
2.采用PIEZO閥，結構簡單，沒有熱量產生。
HORIBA堀場質量流量計SEC-Z500，PCB
1.數字式調整
2.更少電位器。減少改變機械霧部件可能造成的損傷。(Cancel of backrush)
Calibration tool
1.采用 MolBlock 調流量