HORIBA腔室清洗終點監(jiān)測的高級氣體監(jiān)測儀IR-400介紹

2025-11-02 08:00

HORIBA IR-400 高級氣體監(jiān)測儀：提升清洗過程的智能化

上海進佳科學(xué)儀器有限公司，作為一家長期專注于流量控制與過程連接解決方案的企業(yè)，與眾多國際知名品牌保持緊密合作關(guān)系，其中包括已代理15年的日本HORIBA。今天，我們將向您詳細介紹其旗艦產(chǎn)品——HORIBA IR-400高級氣體監(jiān)測儀，該產(chǎn)品專為腔室清洗終點監(jiān)測而設(shè)計，廣泛應(yīng)用于電子半導(dǎo)體及其他高科技行業(yè)。

${自定義變量_標題}

HORIBA IR-400 的核心功能

HORIBA IR-400是業(yè)內(nèi)的氣體監(jiān)測儀，專門用于沉積過程中實時監(jiān)測腔室清洗終點。其獨特的功能包括實時終點監(jiān)測，這一功能能夠顯著減少清洗時間及清洗氣體使用量。通過優(yōu)化清洗過程，IR-400不僅提高了清洗效率，還減少了對腔室的損害，從而延長所有系統(tǒng)部件的使用壽命。

HORIBA IR-400 氣體監(jiān)測儀

技術(shù)參數(shù)解析

HORIBA IR-400具備多氣體監(jiān)測功能，支持SiF4和CF4氣體的檢測（型號IR-422）。其高靈敏度氣室加熱功能可達到最高180℃，確保在不同環(huán)境下的穩(wěn)定性與精確性。此外，IR-400還提供多重顯示模式及模擬/數(shù)字通信接口，方便用戶實時監(jiān)測及數(shù)據(jù)傳輸。

典型應(yīng)用場景

HORIBA IR-400在半導(dǎo)體制造過程中扮演著關(guān)鍵角色。它適用于各種腔室清洗過程，包括化學(xué)氣相沉積（CVD）和物理氣相沉積（PVD）等。通過實時監(jiān)測清洗終點，IR-400不僅優(yōu)化了清洗時間，還降低了清洗氣體的消耗。其可重復(fù)和可預(yù)測的清洗過程，為制造商提供了可靠的生產(chǎn)環(huán)境，確保產(chǎn)品質(zhì)量的一致性。

優(yōu)勢亮點總結(jié)

HORIBA IR-400作為一種高級氣體監(jiān)測儀，提供了諸多優(yōu)勢。首先是其顯著的清洗時間縮短和氣體使用量減少，這不僅提高了生產(chǎn)效率，還保護了腔室組件，延長了設(shè)備的使用壽命。其次，IR-400的高靈敏度和多氣體監(jiān)測功能，確保了在復(fù)雜工藝條件下的精確度和可靠性。最后，上海進佳科學(xué)儀器有限公司提供的全面技術(shù)支持和售后服務(wù)，使得客戶能夠無憂地使用該產(chǎn)品。

聯(lián)系我們

如果您對HORIBA IR-400高級氣體監(jiān)測儀感興趣或有任何疑問，請隨時聯(lián)系上海進佳科學(xué)儀器有限公司。我們擁有專業(yè)的工程師團隊，能夠為您提供選型咨詢、方案推薦以及定制化配件服務(wù)。歡迎致電或訪問我們的官網(wǎng)以獲取更多信息。