HORIBA堀場(chǎng)質(zhì)量流量計(jì)SEC-Z500產(chǎn)品介紹
介紹HORIBA堀場(chǎng)質(zhì)量流量計(jì)SEC-Z500
在工業(yè)自動(dòng)化和流量控制領(lǐng)域，精確的質(zhì)量流量計(jì)是確保工藝穩(wěn)定性和產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵。上海進(jìn)佳科學(xué)儀器有限公司長(zhǎng)期致力于為電子半導(dǎo)體、光纖和生物制藥等高科技行業(yè)提供專(zhuān)業(yè)的流量控制解決方案。本文將詳細(xì)介紹由日本HORIBA推出的質(zhì)量流量計(jì)SEC-Z500，其在半導(dǎo)體制程中的重要作用及核心技術(shù)特性。
SEC-Z500的核心功能與技術(shù)參數(shù)
HORIBA堀場(chǎng)質(zhì)量流量計(jì)SEC-Z500專(zhuān)為半導(dǎo)體制程設(shè)計(jì)，旨在減少實(shí)際流量與理論流量之間的差異。以下是其核心功能與技術(shù)參數(shù)：
- 傳感器：采用溫度補(bǔ)償回路傳感器，能夠有效減少摩爾比熱影響。多項(xiàng)方程用于流量校正，并通過(guò)Data Server不斷更新傳感器數(shù)據(jù)，確保精確性。
- Bypass設(shè)計(jì)：通過(guò)提高加工精度和安裝不同流量的BP配合傳感器，以固定的流量比確保每個(gè)Bin編號(hào)的精度。
- 流量路徑：內(nèi)部表面經(jīng)過(guò)拋光處理，減少流量差異，并采用PIEZO閥，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單且無(wú)熱量產(chǎn)生。
- PCB板：數(shù)字式調(diào)整設(shè)計(jì)，減少電位器使用，避免機(jī)械部件損傷。
- 校準(zhǔn)工具：使用MolBlock進(jìn)行流量調(diào)節(jié)，確保校準(zhǔn)的精確性。
典型應(yīng)用場(chǎng)景
SEC-Z500質(zhì)量流量計(jì)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造過(guò)程中的多個(gè)環(huán)節(jié)，包括刻蝕、沉積和清洗等工藝。其高精度和穩(wěn)定性使其成為確保半導(dǎo)體制程中氣體供應(yīng)的理想選擇。除此之外，SEC-Z500也可以應(yīng)用于光伏、光纖及LED生產(chǎn)等需要精確流量控制的領(lǐng)域。
SEC-Z500的優(yōu)勢(shì)亮點(diǎn)
選擇HORIBA堀場(chǎng)的SEC-Z500質(zhì)量流量計(jì)，您將享受到以下幾大優(yōu)勢(shì)：
- 精確性：通過(guò)先進(jìn)的傳感器技術(shù)和流量校正算法，確保流量測(cè)量的高精度。
- 可靠性：內(nèi)部設(shè)計(jì)減少了機(jī)械部件的磨損風(fēng)險(xiǎn)，延長(zhǎng)設(shè)備使用壽命。
- 易于集成：模塊化設(shè)計(jì)便于與現(xiàn)有系統(tǒng)的集成，簡(jiǎn)化了安裝和維護(hù)過(guò)程。
聯(lián)系上海進(jìn)佳科學(xué)儀器有限公司
作為HORIBA在中國(guó)的長(zhǎng)期合作伙伴，上海進(jìn)佳科學(xué)儀器有限公司憑借二十多年行業(yè)經(jīng)驗(yàn)，為客戶(hù)提供專(zhuān)業(yè)的產(chǎn)品選型咨詢(xún)與技術(shù)支持服務(wù)。我們不僅提供質(zhì)量流量計(jì)的銷(xiāo)售，還支持定制化配件和現(xiàn)場(chǎng)技術(shù)服務(wù)。歡迎聯(lián)系上海進(jìn)佳科學(xué)儀器有限公司，獲取更多關(guān)于SEC-Z500質(zhì)量流量計(jì)的信息。
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