HORIBA MV-2000 液體汽化器產(chǎn)品介紹：高效、穩(wěn)定的液體氣化解決方案

2025-08-01 10:12

一、HORIBA MV-2000 產(chǎn)品概述

HORIBA MV-2000 系列是一款專為高精度氣體輸送與液體汽化需求設(shè)計的混合注入系統(tǒng)液體汽化器，采用螺旋流加熱原理，能在較低溫度下實現(xiàn)穩(wěn)定汽化，適用于易熱解液體源以及要求穩(wěn)定性的半導(dǎo)體和新材料行業(yè)場景。MV-2000 系列作為HORIBA旗下專業(yè)級設(shè)備之一，繼承了該品牌在質(zhì)量流量與熱控制領(lǐng)域的強大技術(shù)積累，廣泛應(yīng)用于CVD、MOCVD、光纖涂覆、燃料電池前驅(qū)體處理等關(guān)鍵工藝流程中。

HORIBA MV-2000 液體汽化器

二、HORIBA MV-2000核心技術(shù)參數(shù)解析

MV-2000 的設(shè)計兼顧穩(wěn)定性、耐腐蝕性與安裝適配性，關(guān)鍵參數(shù)如下：

參數(shù)項 數(shù)值說明
適用液體材料 除HCl、HF等強腐蝕性液體外的其他液體
控溫能力 控制閥：最高140°C；蒸發(fā)器：最高200°C
泄漏完整性 ≤1×10?? Pa·m³/s（He）
內(nèi)部泄漏標(biāo)準 ≤1×10?? Pa·m³/s（He）
潮濕部件材料 SUS316L 不銹鋼 + PFA
溫度傳感器類型 K型熱電偶（CA）
耐壓性能 1MPa（表壓）
工作溫度范圍 15 ~ 50°C
接口標(biāo)準配置 液體入口：1/8 VCR型公頭；氣體入口：1/4 VCR型母頭；氣體出口：1/2 VCR型公頭
可選組件 內(nèi)部超低泄漏氣閥（泄漏率 <1×10?? Pa·m³/s He）

三、HORIBA MV-2000典型應(yīng)用場景

MV-2000 系列液體汽化器在多個高端行業(yè)中展現(xiàn)出強大適應(yīng)性：

  • 半導(dǎo)體制造：適用于高溫蝕刻、薄膜沉積（如CVD、MOCVD）等氣體源供應(yīng)

  • 光纖與光電子：在光纖鍍膜、光學(xué)器件前處理過程中，確保前驅(qū)體汽化均勻

  • 新能源材料：用于燃料電池原料氣化、鋰電材料前驅(qū)體處理

  • 生物制藥與精細化工：對溫控與氣液混合穩(wěn)定性要求高的液體供氣系統(tǒng)

特別適合易熱解液體源的穩(wěn)定供應(yīng)，其溫控能力與防泄漏性能滿足高潔凈級工藝對汽化質(zhì)量的嚴苛要求。

四、HORIBA MV-2000優(yōu)勢亮點總結(jié)

相較于傳統(tǒng)汽化裝置，MV-2000 具備如下核心優(yōu)勢：

  • 低溫汽化能力強：采用螺旋流加熱方式，即便在較低溫度下也能實現(xiàn)均勻蒸發(fā)，避免液體熱解失效。

  • 適配高腐蝕性環(huán)境：核心部件使用PFA與SUS316L材質(zhì)，耐腐蝕性優(yōu)異。

  • 氣密性高：產(chǎn)品整機泄漏率控制在 ≤1×10?? Pa·m³/s，滿足半導(dǎo)體級別工藝要求。

  • 接口靈活：VCR標(biāo)準配置，方便與主流質(zhì)量流量控制系統(tǒng)聯(lián)動。

  • 結(jié)構(gòu)緊湊，易安裝：本體高度127mm，寬度不到100mm，適合安裝于狹小系統(tǒng)空間。

五、HORIBA MV-2000搭配推薦與兼容性說明

MV-2000 可與 HORIBA 系列質(zhì)量流量控制器（如 SEC-Z500、SEC-N100）組合使用，構(gòu)成完整的氣液供給系統(tǒng)。同時也適配 DWYER 系列壓力變送器，構(gòu)建閉環(huán)壓力調(diào)控系統(tǒng)。

常配件包括：

  • 氣密型VCR不銹鋼接頭

  • 定制PTFE輸液管路

  • 溫度控制箱與K型熱電偶傳感器模塊

  • 供液泵系統(tǒng)或壓力儲液罐（客戶已有系統(tǒng)可兼容）

公司可提供定制連接頭、轉(zhuǎn)換接頭與線纜方案，確保安裝匹配與氣路嚴密性。

六、上海進佳科學(xué)儀器有限公司的服務(wù)保障

作為HORIBA品牌在中國的重要合作伙伴，上海進佳科學(xué)儀器有限公司不僅具備多年代理經(jīng)驗，更擁有完善的服務(wù)體系與行業(yè)資源整合能力：

  • 公司總部位于上海浦東，專注流量控制與過程連接解決方案超過20年；

  • 與HORIBA（合作15年）、DWYER（合作20年）等品牌建立穩(wěn)定合作，代理資質(zhì)官方認證，供貨渠道穩(wěn)定；

  • 擁有覆蓋全國的服務(wù)網(wǎng)絡(luò)和專業(yè)工程師團隊，支持遠程選型指導(dǎo)、樣機試用、定制配件開發(fā)等一站式服務(wù)；

  • 公司所有產(chǎn)品出庫前均進行完整檢測，確保交付品質(zhì)，常規(guī)型號備有庫存，特殊型號交期可控；

  • 服務(wù)客戶涵蓋半導(dǎo)體、光伏、新能源、生物制藥、高校科研機構(gòu)等重點行業(yè)用戶，積累了豐富的場景支持與問題處理經(jīng)驗。

無論是初次使用液體汽化器，還是需要替換升級系統(tǒng)設(shè)備，進佳都能提供專業(yè)選型與高效服務(wù)支持。

七、采購建議與服務(wù)引導(dǎo)

建議首次選購MV-2000的客戶與技術(shù)團隊溝通使用工況，我們可協(xié)助您確認：

  • 是否適配高腐蝕性液體

  • 接口類型是否與現(xiàn)有設(shè)備兼容

  • 所需配件是否可現(xiàn)貨供應(yīng)或定制

如您有系統(tǒng)集成需求，也可申請樣機試用或參數(shù)匹配咨詢。

歡迎聯(lián)系上海進佳科學(xué)儀器有限公司技術(shù)工程師，獲取產(chǎn)品資料或快速報價。

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