HORIBA MV-2000 系列混合注入系統液體汽化器介紹與參數信息

2025-05-13 09:32

HORIBA MV-2000 系列混合注入系統液體汽化器產品概述

MV-2000 系列液體汽化器由 HORIBA 開發，采用創新的螺旋流加熱技術，能夠在低溫條件下穩定地將液體原料汽化處理，特別適用于半導體制造過程中“High-k”工藝液體等難處理源的精準汽化。該系列支持高流量應用，具備良好的耐腐蝕性能及高密封性，適用于多種腐蝕性液體（除 HCl、HF）之外的液體源。

HORIBA MV-2000 系列混合注入系統液體汽化器功能與特點

  • 應用螺旋流加熱方法，實現穩定、連續的低溫汽化；
  • 支持大流量處理，適配高產線需求；
  • 適合熱解敏感性液體源的汽化場景；
  • 高密封性能，整體泄漏率 ≤ 1×10?? Pa·m³/s（He）；
  • 耐腐蝕結構，接液部件采用 SUS316L 與 PFA 材質；
  • 多種標準接口配置，便于集成至多種系統平臺；
  • 可選配更高密封等級的氣閥（內漏標準 ≤ 1×10?? Pa·m³/s）；
  • 轉換器內置溫度感測與加熱控制單元，實現智能溫控；
  • K型熱電偶（CA）溫度傳感器，確保熱穩定性；
  • 工作溫度范圍廣（15–50℃），適用于多種環境需求。

HORIBA MV-2000 系列混合注入系統液體汽化器技術參數（核心信息摘選）

  • 液體材料：除 HCl、HF 外的常規腐蝕性液體
  • 設置溫度：控制閥：最大140℃，蒸發器：最大200℃
  • 泄漏完整性：≤ 1×10?? Pa·m³/s（He）
  • 內部泄漏標準：≤ 1×10?? Pa·m³/s（He）（可選 ≤ 1×10?? Pa·m³/s）
  • 潮濕部件材質：SUS316L、PFA
  • 溫度傳感器：K型熱電偶（CA）
  • 耐壓性：1 MPa（表壓）
  • 接口配置：液體入口：1/8 VCR 公母載氣口；氣體出口：1/4 / 1/2 VCR
  • 工作溫度：15–50℃

HORIBA MV-2000 系列混合注入系統液體汽化器典型應用場景

  • 半導體前道/后道制程中的液體源氣化供給系統
  • ALD、CVD 工藝中含腐蝕性液體的精準輸送與汽化
  • 光電材料、化合物半導體、高端封裝等工藝線體配套汽化單元
  • 實驗室或工藝開發階段的高精度液體氣化測試設備